工艺介绍
将多晶原料装入底部带有籽晶的坩埚中,通过电阻加热器对原料进行加热使其熔化。设置温度区,以便原料可优先在坩埚中熔化,籽晶也会部分熔化。然后相对于坩埚,对温度区进行移动,既可以通过机械方式移动坩埚/加热器,又可以通过控制不同加热器元件来改变温度区。熔体最开始会在较低的区域逐渐冷却,随着熔体结晶,晶体在坩埚中开始生长。受热区缓慢向上移动,这意味着凝固前沿也缓慢向上移动。结晶速度取决于温度区移动的速度。
VGF垂直梯度凝固法可用于工业生产砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和磷化镓(GaP)等晶体,生产的晶体可被光电学(LED和激光系统)、半导体技术、高频技术、太阳能技术和电信技术等多个高科技行业广泛应用。
应用
PVA TePla模块化的Kronos系统,可帮助工业公司高效生产复合半导体晶体,如:砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、锗和氟化钙(CaF2)。
PVA MultiCrystallizer系统,专为制取光伏行业所必需的多晶硅锭而量身打造