直拉法工艺 (Cz)

直拉法工艺(Cz),又被称为“晶体提拉法”或“提拉法”,是半导体晶体生长的主要方法。在该过程中,硅(Si)首先被熔化,然后以可控的方式冻结成结晶状态。直拉工艺的优势在于速度快,可控程度高。如今,使用直拉法工艺(Cz)制备高纯度单晶硅晶体已被广泛应用于太阳能行业及半导体行业(计算机集成电路领域及微系统技术领域)中,例如用于制造集成电路、晶体管、传感器及硅光电池等。此外,直拉法工艺还能帮助客户以高效的速度生产出高品质的晶体。

工艺介绍

首先,将高纯度多晶硅放置在单晶提拉系统中的石英坩埚中,然后使用电阻加热器在可控气氛(氩气)下对多晶硅进行加热熔化。当熔体的温度稳定下来(熔点约为1412℃),就将旋转的单晶硅籽晶插入液态硅中。轻微的温度下降熔体就会在籽晶上结晶。缓慢向上提拉籽晶,挂在籽晶上的单晶硅棒就会开始形成。调节提拉速度及温度,使硅单晶能够以恒定的直径进行生长(注意:硅单晶的方向及结构与籽晶相同)。

直拉法工艺的应用在太阳能行业是非常重要的。太阳能电池板使用的硅晶体需具备高纯度和良好的结晶状态,而CZ工艺能够提供这样的晶体。在半导体行业中,直拉法工艺也发挥着重要作用。制造集成电路和晶体管等产品需要高品质的硅晶体作为衬底材料。通过直拉工艺生产的硅晶体具有均匀的掺杂浓度和良好的晶格结构,为半导体器件的制造提供了可靠的基础。此外,直拉法工艺还能够满足客户对高速、大规模生产的需求,从而提高了生产效率和产品质量。

总之,直拉法工艺(CZ)是一种在太阳能和半导体行业中广泛应用的重要工艺。它能够生产高品质的硅晶体,并满足客户对高效生产的需求。随着太阳能和半导体市场的不断发展,直拉法工艺必将继续为这些行业带来更多的技术进步和商机。

应用

PVA TePla区熔晶体生长系统,采用了先进的技术和精密的设备,确保了晶体生长过程的稳定性和可靠性。该系统具有高度的自动化程度,可以监测和控制各个环节的温度、压力和流速等关键参数。同时,它还配备了先进的传感器和监测仪器,能够实时监测晶体生长过程中的各项指标,以确保最佳的生长条件。最大限度助您生产出符合特定需求的高纯度晶体。

 

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