换能器数据采集 / 系统化,超精确
各个像素的信息会被汇总生成一个显示所有记录信号的图像。首先,样品表面的超声反射会被显示出来。如果样品是完好无损的,信号会在样品的背面再次反射。根据样品的上侧和下侧的两个信号到达的时间差可以得到关于样品厚度的信息。如果样品有缺陷,样品和缺陷之间的这个界面也会导致超声波反射的发生。
频率和分辨 / 无可比拟的,特定的
超声波扫描显微镜的工作频率可达千兆赫。一般来说,超声波频率越高,可实现的分辨率就越高,而声波的穿透能力就越弱。
由于耦合介质中的衰减随着频率的升高而呈四次方增加,因此镜头必须要尽可能地靠近被检测的样品。同时需要安排一种在满足这种低工作距离和创建提供高局部分辨率换能器的扫描显微镜,在这种显微镜下,样品被逐个像素地检测。
高分辨率换能器的进一步开发有助于分析系统能够提高测量精度。目前,超声波扫描显微镜提供的最高频率范围可达1000 MHz,分辨率可到0.8 µm,具体取决于检测样品的材料和密度。
根据超声波测试探头的工作频率,可达到以下成像分辨率: