雷射量测系统

SIRD（去极化红外线扫描）系统是一种透射式暗场平面偏光镜。当检测时，固定位置的线性偏振光束穿透待检查的晶圆。如果晶体结构完美且无应力，光束的偏振不会改变。 但如果晶体中存在剪切应力或缺陷，光束则会因为应力引起的双折射效应造成去极化的现象。

功能概述： 

• SIRD的工作方式类似于唱片机：晶圆在转台上旋转，并在半径方向间歇或是连续性(螺旋)地移动

• 根据预先设定的测量参数记录数据；最小或最大半径均可自由选择

• 测量时间取决于选择的横向分辨率(≥50 µm) 以及扫描速度（最大约1 cm² s⁻¹）

• 以图的方式来呈现最重要量测结果(去极化及透视度)

SIRD的工作原理与ARD (Alternating Retarder Depolarization)原理一致。这允许区分不是由双折射影起的去偏振分量。因此，即使是最小的应力差异也是有可能量测的(>100 Pa)。