石墨纯化炉和涂层炉

首先在真空条件下对批量产品进行高温纯化，在该过程中，挥发性成分经高温释放挥发。下一步处理使用卤素气体，确保氯和氟在工艺中作为有效的反应物。典型的最高工艺温度为2200℃，但在个别情况下可以达到2400℃。 

在这种极端的工艺条件下，必须要最大限度地考虑安全问题，并精准了解所用材料的确切特性。 

在选择所用的材料和部件时要考虑到反应性气氛，以确保系统具有尽可能长的使用寿命。 

为了确保符合德国TA Luft空气质量法规等标准，使用的工艺气体及其反应产物作为废气排放前需要进行后处理。这种后处理通常由一个气体洗涤器来完成。