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PVA TePla SAM 全自动系列的完全自动超声波扫描显微镜能够无损检测空洞、空隙、气泡、夹杂物和分层,是圆检测、焊接界面检查、MEMS检测、以及各类电子封装检测的理想选择。该系列配有自动缺陷检测软件包,可对各种缺陷类型进行全自动化评估,检测结果可以以klarf文件和VEGA MAP的形式发布,同时支持链接GEM/SECS。
根据所需分析样品,可以选择不同扫描仪配置,如:4x1、4x2或4x4。此外,传感器可配置为4至8个通道。
样品在机器中的处理可以使用开放式晶圆匣、SMIF晶圆盒、FOUP晶圆盒、JEDEC托盘或装载装置进行个性化处理。
SAM 自动系列满足行业标准。目前,该系统已广泛应用到半导体行业、微电子行业等领域中。