80 Plus 等离子系统专为半导体加工而开发,可支持手动及自动操作,两种操作方式均简单易用。该系统可以配备或不配备装卸站;此外,每个装卸站都可支持不同的配置。即便没有装卸站,也可将其集成到生产线中。
该软件直观,满足当前半导体行业的标准,其主要应用领域是表面的活化和清洁。80 Plus系统操作十分高效,加上其等离子技术,使用它进行等离子处理只需几秒即可完成。
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射频为 13.56 MHz 的电磁辐射通过电极被送入腔室,以便通过加速离子实现表面轰击。除了这种物理效应,还有一种化学效应,但它比使用微波频率时获得的效果要小。
如果等离子设备配备微波发生器,则使用 2.45 GHz 的频率。腔室中没有电极;微波在真空室外部产生,然后通过天线或波导输入。具有这种配置的等离子体以纯化学方式工作。
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