PVA TePla 的 IoN 10Q 是一款桌式全功能射频等离子机，可用于批量晶圆去胶和清除残胶，专为实验室和量产使用而设计，最多可处理 25片晶圆，晶圆最大尺寸为 150 毫米。
PVA TePla的IoN 100-40Qshi一款功能齐全的射频等离子机，可用于批量晶圆去胶和清除残胶，专为实验室和量产使用而设计，最多可处理50片晶圆，晶圆最大尺寸为200毫米。
PVA TePla 的 IoN 单片晶圆去胶机是一款功能齐全的先进射频等离子机，可用于单片晶圆去胶和清除残胶，专为实验室和量产使用而设计，可处理最大的晶圆为200毫米。
PVA TePla 的 IoN 200 是一款功能齐全的射频等离子机 ，可用于表面改性，设计用于实验室和处理大型基板或大批量生产。 该机台还为等离子增强化学气相沉积应用提供了独特的功能。
PVA TePla 的 IoN 40 是一款功能齐全的桌式先进射频等离子机，可用于表面改性，专为实验室和量产使用而设计，适用于处理较小的基板或中小产量。该机台还为等离子增强化学气相沉积应用提供了独特的功能。