批量晶圆处理系统
-
GIGAbatch 310M等离子系统
GIGAbatch 310M等离子系统 是 GIGAbatch 产品系列中的入门级型号。作为最小的系统，GIGAbatch 310M具有较高的性价比，凭借先进的等离子技术以及经济实惠等优点，它是实验室和大学的理想之选。然而，即使是基础版本，它也可用于使用 MFC 气体管道和 600 W 发生器，执行手动和自动等离子处理。
- 基础版本的桌面型；为第二个气体管道提供空间
- 腔室最多可容纳 25 片直径为 150 毫米的晶圆，可以使用石英舟批量处理，或使用带有特殊装载装置进行单片处理
- 各种个性化配置的配件
具有特殊密封材料的配置，带冷却板和循环冷却器的腔室可用于从晶圆上去除 SU-8。
-
GIGAbatch 360/380M等离子系统
GIGAbatch 360M 和 380M等离子系统，是专为满足低要求的小批量生产而设计。 GIGAbatch 360M版本有一个直径为 245 mm的工艺室，最多可容纳 50 片直径为 150 mm的晶圆。而GIGAbatch 380M版本的腔室内径为 300 mm，最多可容纳 25 片直径为 200 mm 的晶圆。
该系统的基础版本是一款落地式设备，带有喷涂面板、可调节支脚和脚轮。它配有一个输出功率为 1000 W 的发生器、两个 MFC 气体管道、晶圆温度监控和一个终点侦测系统。此外，它还包括一个固定晶圆和基板的装置，可安装在腔体室内门上，并可根据客户具体要求进行设计。
也可按客户需求提供：
- 过程压力 (DSC) 的主动控制装置
- 法拉第笼
- 额外的气体管道
- 不同尺寸基板或晶圆的装载装置
- 陶瓷工艺室
- 使用含氟工艺气体运行的特殊密封件
-
GIGAbatch 360/380P等离子系统
GIGAbatch 360P 和 380P等离子系统，可满足半导体行业苛刻的要求，该系统使用相同的腔室几何结构。 GIGAbatch 360P型号的腔室直径为 245 mm，最多可容纳 50 片直径为 150 mm 的晶圆。而GIGAbatch 380P 型号的腔室内径为 300 mm，可容纳 25 片直径为 200 mm 的晶圆。与 M 系列系统的不同之处在于 P 系统满足 100 级洁净室兼容性的要求
特别注意生产线对避免颗粒物和金属污染的要求。
该系统基础版本包括：
- 带有不锈钢镶板、可调节脚和脚轮的落地式设备
- 带有一个输出功率为 1000 W 的发生器、两个带波纹管阀的气体管道和 MFC
- 具有晶圆温度监控和终点侦测系统
工艺室门具有电机驱动装置，可配备用于固定各种尺寸的石英舟的装置，石英舟安装在腔室门内部，并根据客户具体要求进行设计。
也可按要求提供：
- 过程压力 (DSC) 的主动控制装置
- 法拉第笼
- 不同尺寸基板或晶圆的装载装置
- 陶瓷工艺室
- 使用含氟工艺气体运行的特殊密封件
P 型号可配备自动装载装置，可独立从晶圆盒中装载晶圆。